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Sensor de pressão ressonante de silício altamente integrado

Sensor de pressão ressonante de silício altamente integrado

1. A faixa de temperatura mais ampla é de -55 graus ~ 85 graus.
2. Saída de sinal de frequência
3. A faixa de temperatura mais ampla pode chegar a 55 graus ~ 85 graus
4. Várias interfaces estão disponíveis para seleção.
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Detalhes do Produto

Descrição dos produtos

 

O SG-P5Sensor de pressão ressonante de silício altamente integradoadota uma estrutura ressonante micro{0}}usinada MEMS como seu núcleo de detecção e integra um circuito integrado-específico de aplicativo (ASIC) para realizar a função de controle de circuito-fechado do circuito. Quando a pressão externa é aplicada ao diafragma de silício, gera tensão mecânica que altera ligeiramente a rigidez do feixe ressonante, o que se traduz diretamente em mudanças mensuráveis ​​na frequência ressonante. Através do circuito-de detecção de frequência em circuito fechado, a variação de frequência é convertida com precisão em saída de pressão.

Em comparação com os sensores de pressão resistivos/analógicos tradicionais, a detecção baseada em frequência-P5-do SG oferece vantagens significativas: a saída de frequência digital é inerentemente resistente à interferência eletromagnética e à atenuação do sinal, garantindo excelente estabilidade e repetibilidade a longo-prazo. Fabricado usando gravação iônica reativa profunda (DRIE) para obter precisão estrutural sub{5}}mícron, o feixe ressonante do sensor e o design de estrutura dupla-diferencial reduzem efetivamente o desvio de temperatura; combinado com algoritmos de calibração digital, ele funciona de maneira confiável em aplicações de longa-duração e alta-estabilidade. Além disso, sua resposta de alta largura de banda permite a captura de flutuações de pressão em alta-velocidade, tornando-o adequado para medição estática, bem como para cenários de monitoramento dinâmico-em tempo real.

A solução de produto integrada MEMS + ASIC não apenas reduz o tamanho do produto, mas também ajuda a controlar custos, dando ao SG-P5 vantagens óbvias em comparação com outros produtos similares. Com sua excelente precisão e robustez, é a escolha ideal para uma ampla gama de aplicações, incluindo aeroespacial, extração de petróleo e gás, automação industrial, controle de processos químicos, instrumentação médica, mísseis-de baixo custo, drones de enxame e eVTOL.

 

Características

 

● A detecção de frequência ressonante permite alta precisão (temperatura total e precisão abrangente de faixa completa de até ±0,01%FS) e excelente estabilidade

● Saída de sinal de frequência (tipo de saída digital) com forte resistência EMI, adequada para operação em ambientes adversos

● O design do feixe ressonante diferencial garante baixa variação de temperatura e confiabilidade-de longo prazo, com a mais ampla faixa de temperatura operacional de -55 a 85 graus

● Resposta dinâmica de-alta frequência, capaz de monitorar processos-em tempo real

● Estrutura miniaturizada com alta integrabilidade, ideal para OEM e dispositivos embarcados

● Múltiplas interfaces elétricas e interfaces de pressão opcionais, adaptáveis ​​a diversos requisitos de aplicação

Highly Integrated Silicon Resonant Pressure Sensor

 

Especificações

 

Faixa de pressão

140 kPa

Escolha arbitrariamente de 0 a faixa de pressão opcional com faixa de calibração, pressão mínima de calibração 5kPa

280 kPa

Tipo de pressão

Pressão absoluta

Meio de medição

Gás seco e não{0}}corrosivo

Pressão de ruptura

140kPa: 3,5×FS

Pressão de sobrecarga

140kPa: 3,0×FS

280kPa: 2,0×FS

280kPa: 1,5×FS

350kPa: 1,2×FS

Tensão de alimentação

15V±0,5V CC

Consumo atual

Menor ou igual a 30mA

Precisão combinada opcional

±0.01%F.S.

Estabilidade-de longo prazo

Estágio elevado ±0,01%FS

±0.02%F.S.

Grau padrão ±0,02%FS

Tempo de resposta

A pressão muda de 10%FS para 90%FS<25ms

Efeitos de aceleração

<5 Pa/g

Hora de início

250ms atingem o índice de precisão após a fonte de alimentação

Faixa de saída

Frequência de pressão: 30kHz ~ 50kHz

Tensão de temperatura: 0mV ~ 1500mV

Método de saída

Frequência de pressão + Tensão de temperatura

Faixa de temperatura de compensação

-40~80 graus

-55 ~ 85 graus

Interface de pressão

φ2mm×7mm

 

Dimensão Geral

 

Highly Integrated Silicon Resonant Pressure Sensor

Aplicativos

 

Aeroespacial e Aviação: controle de turbinas, regulação de pressão de cabine, simulação/teste.

Petróleo e gás/petroquímica: pressão na cabeça do poço, fraturamento de oleodutos, monitoramento-de campo em tempo real.

Processamento Químico, Farmacêutico e Industrial: controle de reator, monitoramento de vazamentos, medição de sistema em linha.

Automação e Controle Industrial: monitoramento de pressão de gás/líquido, controle de vazão e pressão diferencial.

Instrumentos médicos e de ciências biológicas: medição de pressão de micro{0}}fluxo de precisão, monitoramento de sistemas de gás.

Engenharia marítima e-de alto mar: sensor de pressão submersível (embalagem personalizada de alta-pressão disponível).

 

Por que escolher nosso sensor de pressão de alto-desempenho?

  • Rigoroso controle de qualidade desde o processamento do silício bruto até a microusinagem DRIE e calibração final.
  • Forte capacidade de personalização OEM - faixas de pressão, embalagem, saída de sinal, interface selecionável.
  • Prazo de entrega rápido e entrega escalonável, desde amostras de protótipos até produção em{0}escala total.
  • Suporte de engenharia abrangente, assistência de integração e serviço técnico vitalício.
  • Reconhecimento do setor e pesquisa e desenvolvimento contínuos, garantindo a confiabilidade do produto e a evolução tecnológica-de longo prazo.

 

Perguntas frequentes

Q1. Quais faixas de pressão estão disponíveis para SG-P5?

Os intervalos são personalizáveis. Forneça seus requisitos alvo de meio, faixa, temperatura e integração para recomendações de configuração.

Q2. Quão estável é o desempenho do desvio-de longo prazo?

A estrutura de silício ressonante combinada com a medição de frequência garante desvio ultra-baixo e alta repetibilidade em operação contínua.

Q3. Qual formato de saída o sensor fornece?

Saída de frequência digital. A interface/conector de sinal pode ser personalizado para integração OEM.

Q4. O sensor pode operar em ambientes-de alta temperatura ou ricos em EMI-?

Sim, - o mecanismo baseado em frequência digital-oferece forte imunidade eletromagnética. Ambientes-de alta temperatura ou corrosivos podem exigir embalagens protetoras personalizadas.

Q5. Você oferece suporte a pedidos de produção em massa ou OEM?

Sim. Fornecemos amostras de engenharia, testes e produção em massa com certificação, relatórios de controle de qualidade e dados de calibração.

Tag: Sensor de pressão ressonante de silício altamente integrado, fabricantes, fornecedores, fábrica de sensores de pressão ressonante de silício altamente integrados na China

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