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Sensor de pressão ressonante de silício de alta precisão

Sensor de pressão ressonante de silício de alta precisão

1. Precisão abrangente-temperatura completa-da faixa completa: ±0,01%FS
2. Saída de sinal de frequência
3. Faixa máxima de temperatura: -55 graus ~85 graus
4. Interfaces elétricas e de pressão opcionais
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Detalhes do Produto

Descrição dos produtos

 

Sensores de pressão ressonante de silíciorepresentam os sensores de pressão de maior precisão-disponíveis atualmente, apresentando vantagens como alta precisão, excelente estabilidade e saída quase{1}}digital - tornando-os amplamente aplicáveis ​​em sistemas de medição de dados atmosféricos de aviação, controladores de pressão e equipamentos de medição meteorológica. O sensor de pressão ressonante de silício de alta precisão-série SG-P2 aproveita a avançada tecnologia MEMS ressonante de silício, integrando um único feixe ressonante mecânico de-micro{8}}silício cristalino com um diafragma sensível à pressão-, ao mesmo tempo que adota um design simplificado de interface elétrica e de pressão; sob a premissa de garantir desempenho, seu tamanho é minimizado para facilitar a desmontagem e instalação do produto.

A estrutura ressonante central da série SG-P2 emprega um projeto de feixe de diapasão operando no modo de vibração-plano. A interação entre sinais elétricos e vibração mecânica é obtida por meio de excitação eletrostática e captação de vibração capacitiva, com um circuito-de controle de malha fechada convertendo sinais de frequência em saída. Especificamente, a tensão-induzida por pressão altera a rigidez do feixe ressonante, levando a uma mudança mensurável em sua frequência ressonante natural; essa mudança é detectada por meio de uma cavidade-embalada a vácuo e um circuito de detecção de frequência de alta-estabilidade, que a converte em leituras de pressão precisas. Comparado aos sensores piezoresistivos ou capacitivos tradicionais, esse princípio de funcionamento{10}}baseado em frequência fornece inerentemente saída de frequência digital, imunidade a interferências extremamente alta e estabilidade-de longo prazo.

Por meio de processos precisos de microfabricação - incluindo gravação de íons reativos profundos, ligação de silício-de silício de alta precisão e embalagem a vácuo - a série SG-P2 garante consistência estrutural e erros mínimos de fabricação (±0,1 µm), proporcionando excelente precisão de frequência e repetibilidade. Além disso, sua estrutura de ressonador duplo-diferencial combinada com compensação de temperatura reduz efetivamente o desvio de frequência-induzido pela temperatura, mantendo alta precisão em uma ampla faixa de temperatura.

Como a saída é baseada em frequência-(digital) em vez de tensão/corrente analógica, o sinal é naturalmente imune a interferência eletromagnética (EMI), flutuações de energia e ruído analógico, tornando a série SG-P2 ideal para sistemas de controle industrial (PLC/DCS/SCADA), monitoramento remoto/aquisição de dados (DAQ) e controle de processo automatizado. Seu design de embalagem modular também permite que os clientes personalizem faixas de pressão, conexões de processo e interfaces de saída para integração perfeita do sistema.

 

CARACTERÍSTICAS

 

  • Saída de frequência digital - Imune a EMI, flutuações de energia e ruído; facilita o processamento de sinais digitais e o monitoramento remoto.
  • Alta precisão e estabilidade - ressonador de silício de cristal único- + micro-usinagem + embalagem a vácuo + temperatura. A precisão abrangente de temperatura total e faixa completa pode atingir ±0,01%FSA compensação garante alta precisão e confiabilidade-de longo prazo.
  • Ampla faixa de pressão e capacidade de alta pressão - Suporta aplicações de baixa a alta-pressão, adequadas para ambientes industriais complexos.
  • Compensação/estabilidade de temperatura - O design do ressonador duplo-diferencial reduz o desvio de frequência-induzido pela temperatura.
  • Modular e personalizável - Suporta personalização para faixa de pressão, conexões de processo, interfaces de saída e materiais.
  • Confiabilidade-de longo prazo e baixa manutenção - A embalagem a vácuo e a estrutura estável do ressonador reduzem a frequência de calibração e os custos de manutenção.
  • Fácil integração de sistemas - Saída digital compatível com sistemas PLC/DCS/DAQ/SCADA/IoT, ideal para automação, monitoramento remoto e aquisição de dados.
High Precision Silicon Resonant Pressure Sensor

 

ESPECIFICAÇÕES

 

Faixa de pressão

140 kPa

Escolha arbitrariamente de 0 a faixa de pressão opcional com faixa de calibração, pressão mínima de calibração 5kPa

280 kPa

350 kPa

Tipo de pressão

Pressão absoluta

Meio de medição

Gás seco e não{0}}corrosivo (estrutura sem água)

Pressão de ruptura

3.5×F.S.

Pressão de sobrecarga

3.0×F.S.

2.0×F.S.

1.5×F.S.

1.5×F.S.

1.2×F.S.

Tensão de alimentação

15V±0,5V CC

Consumo atual

<30mA

Precisão combinada opcional

±0.01%F.S.

Estabilidade-de longo prazo

Estágio elevado±0,01%FS

±0.02%F.S.

Grau padrão±0,02%FS

Tempo de resposta

A pressão muda de 10%FS para 90%FS<25ms

Efeitos de aceleração

<5Pa/g

Hora de-inicialização

250ms atingem o índice de precisão após a fonte de alimentação

Faixa de saída

Frequência de pressão: 30kHz ~ 50kHz

Frequência de temperatura: 2kHz ~ 15kHz

Método de saída

Frequência de pressão

Frequência de temperatura

Tensão de temperatura

Faixa de temperatura de compensação

-10-50 graus

Interface de pressão

Φ2mm×7mm

-40-80 graus

-55-85 graus

Marca: Forma de saída: Tanto a saída de pressão quanto a saída de temperatura são sinais de frequência de onda quadrada. O nível de onda quadrada é opcional: 3,3 V TTL, 5 V TTL.

 

DIMENSÃO GERAL

 

High Precision Silicon Resonant Pressure Sensor

Aplicativos

 

Os sensores da série SG‑P2 são ideais para indústrias e cenários que exigem alta precisão, estabilidade e confiabilidade:

  • Petróleo e Gás - Tubulações de alta-pressão, estações de compressão, sistemas de injeção, monitoramento de pressão de fundo de poço.
  • Petroquímica/Química - Reatores de alta-pressão, monitoramento de processos químicos, sistemas de controle de pressão de alta-precisão.
  • Automação industrial e controle de processos - Monitoramento de pressão de gás/líquido, automação de processos industriais, integração PLC/DCS.
  • Testes Aeroespaciais/Motores - Monitoramento de sistemas de pressão de gás/ar, câmara de combustão e sistema pneumático.
  • Medição de pressão de poços de petróleo/água do mar de alta-pressão - com embalagem adequada e design anti{3}}corrosão.
  • Energia / Potência - Caldeiras, sistemas de vapor, ar comprimido, sistemas de gás de alta-pressão.
  • Instrumentação/Pesquisa - Instrumentos científicos e equipamentos de teste que exigem alta precisão, repetibilidade e estabilidade-de longo prazo.

(Conexão de embalagem/processo personalizável para adaptação a cenários mais industriais/de pesquisa.)

 

Por que escolher nosso sensor de pressão ressonante de silício de alta-precisão?

Rigoroso controle de qualidade e fabricação de precisão - A fabricação avançada de MEMS (DRIE + silício-cristalino único + embalagem a vácuo + estrutura-com compensação de temperatura) garante consistência e alta confiabilidade.

Forte capacidade de personalização - Adapte a faixa de pressão, a conexão do processo, a interface de saída e as embalagens/materiais para atender às necessidades de integração com sistemas PLC/DCS/SCADA/DAQ.

Entrega rápida/fornecimento em lote - Processos maduros e cadeia de suprimentos suportam pedidos de médio a grande-escala com cronogramas de projetos industriais.

A estabilidade-de longo prazo reduz os custos de manutenção - A saída de frequência ressonante + embalagem a vácuo + estrutura de compensação de temperatura garantem desvio mínimo e alta repetibilidade.

Suporte técnico e serviço de integração de sistemas - Serviço completo-desde a seleção, personalização, instalação e calibração do produto até o suporte-pós-venda. A assistência na integração e verificação do sistema garante uma operação confiável, segura e{4}}fácil de usar.

 

Perguntas frequentes

Q1: Por que escolher a saída de frequência em vez da analógica tradicional (4‑20 mA / 0–5 V)?

A1: A saída de frequência é inerentemente digital e imune a EMI, flutuações de energia e ruído de linha de sinal. Também é mais fácil processar digitalmente e transmitir remotamente, oferecendo maior estabilidade e confiabilidade do que a saída analógica.

P2: Como a temperatura afeta a precisão da medição e como o desvio térmico é compensado?

A2: O design do ressonador duplo-diferencial garante que ambos os ressonadores respondam igualmente à temperatura, mas de forma oposta à pressão. A saída de frequência diferencial compensa efetivamente o desvio térmico, mantendo alta precisão em amplas faixas de temperatura.

P3: A série SG‑P2 consegue lidar com alta pressão?

A3: Sim. O projeto de feixe ressonador + micro{3}}cavidade + estrutura reforçada permite aplicações de alta-pressão (até ~100 MPa em estruturas semelhantes), mantendo alta precisão e estabilidade. As embalagens e os materiais podem ser personalizados para sistemas-de alta pressão.

Q4: A interface de saída é flexível para integração com PLC/DCS/SCADA?

A4: Sim. O design modular suporta saída personalizável (frequência digital, sinais padrão industrial, protocolos especiais) e pode ser adaptado para compatibilidade de sinal com sistemas de controle existentes.

Q5: Qual é o prazo de entrega e a capacidade de fornecimento em lote?

R5: Nosso processo de produção maduro suporta pedidos de médio a grande-escala. Os produtos padrão têm prazos de entrega curtos; para requisitos personalizados, oferecemos um cronograma claro de produção e entrega, garantindo qualidade e confiabilidade.

 

Se você estiver interessado no sensor de pressão ressonante de silício de alta precisão da série SG‑P2, seja padrão ou personalizado para o seu processo (faixa de pressão/interface/embalagem/ambiente), entre em contato conosco para obter uma folha de dados, certificado de calibração, teste de amostra ou cotação em massa. Oferecemos suporte técnico profissional, entrega confiável e excelente serviço pós{2}}venda.

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